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气体等离子体类型：各向异性等离子体是有方向性的，由电气控制一些具体的高能离子，或某个范围的能量（见美国铝框系统）。
各向同性等离子体是多方位和包含整个的3–D等离子的设备（见美国石英筒备系统）。
气体等离子体处理了超过湿化学处理几个优点。液体的表面张力的现象消除，正如泡沫的形成，这可能会导致不完全湿化。等离子蚀刻可以迅速结束，终止进程，而液体蚀刻工艺很难准确的结束。
“绿色”的优势：无氟氯化碳和污水，操作和环境安全。排除有毒和腐蚀性的液体。等离子处理的主要缺点是较低的吞吐量。
我们致力于气体等离子处理，即让气体在常温下，无热相变下改变。这些气体可以是惰性的，也可以是起反应的。在反应性气体的情况下，利用动量转移处理以及气体反应的化学性质改变材料的特性。
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