美国Anatech等离子刻蚀机气体等离子体类型

 　　当气体暴露在电子区域时可以形成等离子体。如果该区域气流足够强，高比例的气体原子将服从电子或两个成为已电离的。由此产生的电离气体和释放的高能电子组成的气体等离子或离子。已电离的气体原子的动能相对较小，除非他们通过电场加速。加速时，他们会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。等离子体效应的过程转换成材料的蚀刻工艺。活性气体在分子级上的使用也产生化学反应。