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电子厂车间废气处理设备工艺是利用催化燃烧的方法，将的气体转化为低毒的气体。该装置主体结构，由净化装置主机、引风机、控制系统三大部分组成。其中催化燃烧净化装置包括：除尘阻火器、热交换器、预热器、催化燃烧室。
电子厂车间废气处理设备是在催化剂的作用下，将VOCs在200～400℃的低温条件下分解为CO2和H2O，是净化碳氢化合物等废气、清理恶臭的手段之一。在废气特别是回收价值不大的废气净化方面，比如化工、喷漆、绝缘材料、漆包线、涂料生产等行业应用较广。设备性能稳定，能达到预期的效果。吸附床经过一段时间的运行后会达到吸附饱和。
将废气直接引入电子厂车间废气处理设备，在开始阶段需通过电加热器将其温度升高至反应需要的温度，废气在催化催化剂作用发生氧化放热反应生成没有危害的H2O和CO2，分解后释放出的热量通过热交换器加热进入催化床的废气，当废气的浓度达到相应的浓度时，放热和热交换所需要热量达到平衡，无需电加热，通过自身平衡处理掉浓度好废气。
电子厂废气处理成套设备借助催化剂可以使废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并氧化分解为CO2和H2O，同时放出大量热。焚烧炉的运行能耗主要是电和燃料。一旦设备定型了，电耗基本恒定，风机可采用变频控制省电，这里不做讨论，主要讨论燃料问题。因废气量不稳定、浓度不稳定，加上车间废气控制不好，所以在启动及运行过程中，需要经常补充燃料（常用柴油、燃气）以维持燃烧室温度。燃料消耗多少，关键取决于蓄热陶瓷的蓄热能力，通常以能够维持正常运行而不需补充燃料所需的较低VOC浓度来衡量能耗高低。此数值越低，则能耗越低。有力的的rto焚烧炉此数值可达450×10-6mg/L。另外，能量损耗主要是尾气带走的热量和表面散热损失，尾气带走热量与废气量和进出入口温差相关，尾气温度越低、进出入口温差越大，则能耗越低。表面散热损失体现在箱体表面温度与环境的温度差，保温效果不错则温差小，散热损失小。当然，能耗还有可能跟局部地方保温薄弱及高温气体泄漏有关。
电子厂车间废气处理设备的燃烧方法及氧化反应如下：
一、起燃温度低，能耗少，燃烧易达稳定，甚至到起燃温度后无需外界传热就能完成氧化反应。
二、适应氧浓度范围大，噪音小，无二次污染，且燃烧缓和，运转费用不高，操作管理也很方便。
三、有用物质氧化发生在固体催化剂表面，同时产生CO2和H2O，并放出大量的热量，因其氧化反应温度低，所以地控制了空气中的N2形成高温NOx。
四、蓄热燃烧是典型的气-固相催化反应，它借助催化剂降低了反应的活化能，使其在较低的起燃温度200～300℃下进行无焰燃烧。
五、净化速率不错，污染物（如NOx及不全部燃烧产物等）的排放水平较低。
六、而且由于催化剂有选择性催化作用，有可能限制燃料中含氮化合物（RNH）的氧化过程，使其多数形成分子氮（N2）。
电子行业废气处理设备是一种能改变化学反应速度，而在反应前后其本身的化学性质没有改变的物质。电子厂车间废气处理设备通常是由催化活性材料和催化载体构成。催化活性材料一般是金属或金属氧化物。其中贵重废气处理设备主要有铂、钯和钌等，普通金属废气处理设备主要有铜、铬、镍、钒、锰、铁、钴等金属及氧化物。催化载体是多孔材料，主要作用是使活性材料具有大的体表面积。
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